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探針測試臺技術(shù)指標
發(fā)布時間：2017-04-06瀏覽次數(shù)：1625返回列表
技 術(shù) 指 標 ：
| 工作臺面 | 370mm*245mm |
| 載物臺直徑 | 4" |
| 光學參數(shù) | 總放大率：50-100倍；手輪調(diào)焦范圍：60mm；升降調(diào)焦范圍：200mm； |
| 旋轉(zhuǎn)臺 |
粗調(diào)范圍：360°；微調(diào)范圍：±10°；小刻劃：1°； |
| 三維探針座 | 探針座X、Y、Z方向調(diào)節(jié)范圍：±3.25mm，分辨率±2μ； 三維探針座在工作臺面可任意位置固定，由磁性開關(guān)控制； 多可布三維探針座6個； 探針臂伸出長度：60mm； 探針長度：40mm； |
| 探針 | 探針材質(zhì)硬質(zhì)合金，針尖曲率半徑2μm； |
