波長色散X射線熒光光譜儀是利用原級X射線或其他光子源激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線）。從而進行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。它的優(yōu)點是不破壞樣品，分析速度快，適用于測定原子序數(shù)4以上的所有化學(xué)元素，分析精度高，樣品制備簡單。
    X射線熒光光譜分析技術(shù)目前已在地質(zhì)、冶金、材料、環(huán)境等無機分析領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用，是各種無機材料中主組分分析zui重要的技術(shù)手段之一，各種與X射線熒光光譜相關(guān)的分析技術(shù)，如同步輻射XRF、全反射XRF光譜技術(shù)等，在痕量和超痕量分析中發(fā)揮著重要的作用。波長色散X射線熒光光譜儀的工作過程是怎樣的呢？
    XRF工作原理是X射線光管發(fā)出的初級X射線照射樣品，樣品中原子的內(nèi)層電子被激發(fā)，當(dāng)外層電子躍遷時產(chǎn)生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產(chǎn)生的特征熒光X射線波長（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。
    X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍在0.1~100 keV的光子。X射線與物質(zhì)的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。
    根據(jù)經(jīng)典電磁理論，運動的帶電粒子的運動速度發(fā)生改變時會向外輻射電磁波。實驗室中常用的X射線源便是利用這一原理產(chǎn)生的：利用被高壓加速的電子轟擊金屬靶，電子被金屬靶所減速，便向外輻射X射線。這些X射線中既包含了連續(xù)譜線，也包括了特征譜線。
    連續(xù)光譜是由高能的帶電粒子撞擊金屬靶面時受到靶原子核的庫侖力作用，突然改變速度而產(chǎn)生的電磁輻射（如圖1）。由于在撞擊時，有的帶電粒子在一次碰撞中損失全部能量，有的帶電粒子同靶發(fā)生多次碰撞逐步損失其能量，直到完全喪失為止，因而產(chǎn)生的波長是具有連續(xù)分布的電磁波。因此，它也稱為韌致輻射、白色X射線或多色X射線。
    X射線或其他光子源激發(fā)待測物質(zhì)中的原子,使之產(chǎn)生熒光（次級X射線）。從而進行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有色散型和非色散型兩種。色散型又分為波長色散型和能量色散型。波長色散型XRF光譜儀由X射線管激發(fā)源，分光系統(tǒng)，探測器系統(tǒng)，真空系統(tǒng)和氣流系統(tǒng)等部分組成。根據(jù)分析晶體的聚焦幾何條件不同,分為非聚焦反射平晶式,半聚焦反射彎晶式，全聚焦反射彎晶式，半聚焦透射彎晶式等。其原理是:試樣受X射線照射后，元素的原子內(nèi)殼層電子被激發(fā)，并產(chǎn)生殼層電子躍遷而發(fā)射出該元素的特征X射線，通過探測器測量元素特征X射線的波長（能量）的強度與濃度的比例關(guān)系，便可進行定量分析。